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為什么生產集成電路必須使用單晶硅?

發布時間:2019-09-15 點擊次數:440

這是因為器件的許多電學和機械性質都與它的原子級結構有關。這就要求原子具有重復性結構,從而使得芯片與芯片之間的性能具有重復性。

在某些情況下,需要硅片有非常純的、與半導體襯底有相同晶體結構的硅表面,還要保持對摻雜類型和濃度的控制。這要通過在硅片表面淀積一層外延層來實現


半導體外延定義:外延(epitaxy)是在單晶襯底上生長一層單晶膜的技術。新生單晶層按襯底晶向延伸生長, 并稱此為外延層。長了外延層的襯底稱為外延片

半導體用石墨盤

半導體外延特點:

晶體結構良好

摻入的雜質濃度易控制

可形成接近突變p—n結


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